Полное описание

R/2657/2436
Pill-Kauffmann, W. Relaxation thermischer Spannungen in Aluminiumfilmen auf Quarzsubstraten : Diss. / W.Pill-Kauffmann. - J@:ulich : [s. n.], 1991. - 124 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2436). - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.95-98
Перевод заглавия: Релаксация тепловых напряжений в алюминиевой пленке на кварцевой основе:Дис

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.771.14.002(043)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Металлизация

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽