Полное описание

R/2657/2397
Jiang, X. Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a0C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter : Diss. / X.Jiang. - J@:ulich : [s. n.], 1990. - 92 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2397). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.: c.88-92

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.216.2(043)
31.21.21	547.21.03:539.216.2(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки
Углеводородные пленки

Кл.слова (ненормированные): кремниевая пленка -- углеводородная пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽