Полное описание

R/2657/2321
Vollkommer, F. Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten fur die Mikroelektronik : Diss. / F.Vollkommer. - J@:ulich : [s. n.], 1989. - 82 S. : Ill. - (Berichte / Kernforschungsanlage(Julich), ISSN 0366-0885 ; N2321). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.79-81

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.004.6(043)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Повреждения

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽