Полное описание

R/1872/992
Suzuki, A. Role of higher solanes in process for hydrogenated amorphous silicon films / A.Suzuki. - Tsukuba : [s. n.], 2000. - 64 p. : ill. - (Researches / Electrotechn.lab., ISSN 0366-9106 ; n992). - 20.00 р. - Текст : непосредственный.
Текст яп.Рез.англ.Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): кремниевая пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽