Полное описание

R/18265/145-146
Solid state phenomena : материалы временных коллективов. - Stafa-Zuerich : Trans tech publ., 2007 - . - ISSN 1012-0394. - Текст : непосредственный.
Vol. 145-146 : Ultra clean processing of semiconductor surfaces IX : 9th Intern. symp. on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS) held in Bruges, Belgium, Sept. 22-24, 2008 / International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th; 2008; Bruges) ; ed. P. Mertens [et al.]. - 2009. - XVI, 400 p. : ill. - Библиогр. в конце докл. Указ.: с. 393-400. - ISBN 978-3-908451-64-8 : 8960.00 р.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592-047.84(063)

Рубрики:
Полупроводники -- Обработка -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Mertens, P.\ed.\
International symposium on ultra clean processind of semiconductor surfaces (UCPSS) (9th ; 2008 ; Bruges)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽