Полное описание

R/18192/19
Springer series in advanced microelectronics / ed. K. Itoh [et al.]. - Berlin[etc.] : Springer, 20 - . - ISSN 1437-0387. - Текст : непосредственный.
19 : Gettering defects in semiconductors / V. A. Perevostchikov, V. D. Skoupov. - Berlin[etc.] : Springer, 2005. - XV,386 p. : ill. - Библиогр.: с. 343-366. Указ.: с. 367-386. - ISBN 3-540-26244-X : 4021.75 р.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002:669.046.516

Рубрики:
Ионное внедрение

Доп. точки доступа:
Itoh, K.\ed.\
Skoupov, V.D.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽