Полное описание

R/18103/55
Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition ..., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 2002. - 363 p : lll. - (nato science series. sub-ser.II, Mathematics, physics and chemistry ; vol.55). - ISBN 1-4020-0524-5 : 40.00 р., 10.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце статей. Указ.:c.361-263

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002(063)

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Pauleau, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽