Полное описание

R/17669/7492
Forschungszentrum(Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : дис. ... / FZKA. - Karlsruhe : [s. n.], 19 - . - ISSN 0947-8620. - Текст : непосредственный.
7492 : Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials : diss. / M. Haj-Taieb, J. Aktaa, K. Bade. - 2009. - VIII, 128 p. : ill. - Библиогр.: с. 117-128 (124 назв.). -

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-03(043)

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Aktaa, J.
Bade, K.
Forschungszentrum(Karlsruhe)

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽