Полное описание

R/17669/7215
Forschungszentrum (Karlsruhe).
Wissenschaftliche Berichte : сборник научных трудов / FZKA. - Karlsruhe : [s. n.], 19 - . - ISSN 0947-8620. - Текст : непосредственный.
7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr. - Karlsruhe : FZKA, 2006. - IV, 71 S. : Ill. - 30.00 р.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.77-047.84:776(043)

Рубрики:
Рентгенолитография

Доп. точки доступа:
Achenbach, S.
Mohr, J.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽