Полное описание

R/17669/6606
Extreme ultraviolet (EUV) sources for lithography based on synchrotron radiation / A.Dattoli,A.Doria,G.P.Gallerano и др. - Karlsruhe : [s. n.], 2001. - 29 p. : ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6606). - 20.00 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем. Библиогр.:с.16-19

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776

Рубрики:
электронолитографическое оборудование

Кл.слова (ненормированные): электронолитографическое оборудование
Доп. точки доступа:
Dattoli, A.
Doria, A.
Gallerano, G.P.
Giannessi, L.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽