Полное описание

R/17669/6576
Achenbach, S. Optimierung der Prozessbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Rontgenlithographie (UDXRL) : Diss. / S.Achenbach,F.J.Pantenburg,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 2000. - VI,138 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6576). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:c.113-122

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): миниатюрное изделие
Доп. точки доступа:
Pantenburg, F.J.
Mohr, J.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽