Полное описание

R/17669/6455
Karthaus, J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 2000. - VIII,121 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6455). - 30.00 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.116-121

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.357.7(043)
47.13.11	621.3.049.76-047.84:621.793(043)

Рубрики:
Гальваностегия
Микроэлектронные приборы -- Металлизация

Кл.слова (ненормированные): гальваностегия -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Bade, K.
Bacher, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽