Полное описание

R/17669/6254
Muller, K. -D. Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern : Diss. / K.-D.M@:uller. - Karlsruhe : [s. n.], 1999. - III,83 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6254). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.75-78

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4(043)

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): миниатюрное изделие -- датчик
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽