Полное описание

R/17669/6114
Zanghellini, J. Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen / J.Zanghellini,A.El-Kholi,J.Mohr. - Karlsruhe : [s. n.], 1998. - 74 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 6114). - 20.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.71-74

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4
	621.3.049.76.002

Рубрики:
Миниатюрные изделия -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство

Кл.слова (ненормированные): миниатюрное изделие -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
El-Kholi, A.
Mohr, J.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽