Полное описание

R/17669/5671
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A.Both,W.Bacher,M.Heckele,R.Ruprecht. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - III,103 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5671). - 5000 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.100-103

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- миниатюрное изделие
Доп. точки доступа:
Both, A.
Bacher, W.
Heckele, M.
Ruprecht, R.

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽