Полное описание

R/17669/5597
Entwurf eines Systems zur Erfassung und Weiterverarbeitung von Produktinformation bei der Herstellung von Mikrostrukturen / P.Wieland,C.D@:upmeier,H.Eggert,K.P.Scherer. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - IX,148 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5597). - 10000 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.89-95

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76:658.562
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Технический контроль
Миниатюрные изделия -- Технический контроль

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- миниатюрное изделие
Доп. точки доступа:
Wieland, P.
Dupmeier, C.
Eggert, H.
Scherer, K.P.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽