Полное описание

R/17669/5594
Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 87 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5594). - 1500 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.75-79

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектроды -- Производство
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Layendecker, K.
Bacher, W.
Bade, K.
Stark, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽