Полное описание

R/17669/5586
Thommes, A. Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen / A.Thommes,W.Stark,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 76 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5586). - 3000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.73-74

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор -- миниатюрное изделие
Доп. точки доступа:
Stark, W.
Bacher, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽