Полное описание

R/17669/5574
Khler, U. Plasmaloses und laserinduziertes Atzen von Silicium mit den Halogenen Fluor,Chlor und Brom / U.K@:hler,A.Guber,W.Bier. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 52 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5574). - 2000 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.,нем.Библиогр.:с.50-52

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592:621.794

Рубрики:
Кремний -- Травление

Кл.слова (ненормированные): кремний
Доп. точки доступа:
Guber, A.
Bier, W.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽