Полное описание
>
Swihart, M. An analysis of flow, temperature and chemical composition distortion in gas sampling through an orifice during chemical vapor deposition / M.Swihart,S.L.Girshick. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 35 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/21). - 5.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.21-24
ГРНТИ | УДК | |
29.19.16 | 539.23 |
Рубрики:
Пленки -- Производство
Кл.слова (ненормированные): пленка
Доп. точки доступа:
Girshick, S.L.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽