Полное описание

R/17401/99/19
The effect of substrate temperature on the properties of nanostructured silicon carbide films deposited by hypersonic plasma particle deposition / J.Blum,N.Tymiak,A.Neuman и др. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 32 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/19). - 5.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в кн.

ГРНТИ	УДК
61.31.47	661.665.1-416

Рубрики:
Кремний, карбиды, пленки

Кл.слова (ненормированные): кремний
Доп. точки доступа:
Blum, J.
Tymiak, N.
Neuman, A.
Wong, Z.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽