Полное описание

R/17401/98/225
Numerical modeling of gas-phase nucleation and particle growth during chemical vapor deposition of silicon / S.L.Girshick,M.T.Swihart,S.-M.Suh и др. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 12 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 98/225). - 5.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в кн.

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): кремниевая пленка
Доп. точки доступа:
Girshick, S.L.
Swihart, M.T.
Suh, S.-M.
Mahajan, M.R.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽