Полное описание

R/17401/94/244
Development of an experimentally validated model of megasonic cleaning / D.B.Kettelson,T.H.Kuehn,D.Zhang,Y.Wu. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1994. - 45 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 94/244). - 200 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:в книге

ГРНТИ	УДК
47.13.14	621.383.002

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Очистка

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковый прибор
Доп. точки доступа:
Kettelson, D.B.
Kuehn, T.H.
Zhang, D.
Wu, Y.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽