Полное описание
>
Zhan, Q. Measuring unresolved surface features using imaging ellipsometric polarization signatures / Q.Zhan,J.R.Leger. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 2002. - 3 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 2002/54). - 10.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c. [3]
ГРНТИ | УДК | |
90.27.37 | 681.785.35 |
Рубрики:
Эллипсометрия
Доп. точки доступа:
Leger, J.R.
University of Minnesota (Minneapolis, Mn). Supercomputer institute
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽