Полное описание

R/17401/2002/53
Zhan, Q. Measurement of surface features beyong the diffraction limit using an imaging ellipsometer / Q.Zhan,R.Leger. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 2002. - 13 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 2002/53). - 10.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c.8-9

ГРНТИ	УДК
90.27.37	681.785.35

Рубрики:
Эллипсометрия

Доп. точки доступа:
Leger, R.
University of Minnesota (Minneapolis, Mn). Supercomputer institute

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽