Полное описание
>
Zhan, Q. Imaging ellipsometry high-spatial-resolution metrology / Q.Zhan,R.Leger. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 2002. - 12 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 2002/52). - 10.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c.[11]-[12]
ГРНТИ | УДК | |
90.27.37 | 681.785.35 |
Рубрики:
Эллипсометрия
Доп. точки доступа:
Leger, R.
University of Minnesota (Minneapolis, Mn). Supercomputer institute
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽