Полное описание

R/17146/1
LPCVD silicon nitride and oxynitride films : сборник научных трудов / сост.ed. F. H.P.M. Habraken. - Berlin[etc.] : Springer , 1991. - 159 p. : ill. - (Research reports ESPRIT.Project 369 / Europ.strategic programme for research and development in inform.technology ; vol.1). - ISBN 3-540-53954-9 : 65.70 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
Перевод заглавия: Исследовательский отчет ESPRIT (Европ. стратегич. программы по НИР и ОКР в области информационной технологии):Проект 369

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77.002.3

Рубрики:
Интегральные схемы -- Материалы

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы
Доп. точки доступа:
Habraken, F.H.P.M.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽