Полное описание

R/14981/13
The physics and fabrication of microstructures and microdevices : proc.of the winter school,Les Houches,March 25-Apr.5,1986 / Ed.: M. J. Kelly, C. Weisbuch. - Berlin[etc.] : Springer, 1986. - XI,469 p. p. : ill. - (Springer proceedings in physics ; n13). - ISBN 3-540-16898-2 : 33.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.469

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77(063)
47.33.37	621.3.049.76(062)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Kelly, M.J.\ed.\
Weisbuch, C.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽