• ВХОД

    •  

    Полное описание

    R/14156/147
     Ion beam processing of advanced electronic materials : symp.on ion beam processing of advanced electronic materials, San Diego(Ca), Apr.25-27, 1989 / сост.ed. N. W. Cheung. - Pittsburgh, Pa : Materials research soc., 1989. - XI, 401 p. 401 p. : ill. - (Symposia proceeding / Materials research soc., ISSN 0272-9172 ; n147). - ISBN 1-55899-020-8 : 31.70 р. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце гл. Указ.: с. 939-401
    Перевод заглавия: Дефекты в материалах электронной чистоты:Труды симп. Бостон, 1987
    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.315.592.002:669(063)

    Рубрики:
    Ионное внедрение -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение
    Доп. точки доступа:
    Cheung, N.W.\ed.\
    Экз-ры полностью R/14156/147
    Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
    Свободны: ХР (1), (2)
    Копия:



    Заказ фрагмента документа ₽