Полное описание

R/122/1438/62
Kwatera, A. Modelowanie chemicznego procesu osadzania cienkich warstw z fazy gazowej w warunkach kontrolowanych dyfuzja reagentow do podloza / A.Kwatera. - Krakow : [s. n.], 1991. - 108 s. : il. - (Zeszyty naukowe / Akademia gorniczo-hutnicza im.Stanislawa Staszica(Krakow) ; 1438) (Ceramika, ISSN 0075-7012 ; z.62). - 4.00 р. - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.в конце книги
Перевод заглавия: Моделирование химического процесса осаждения тонких слоев в газовой фазе в контролируемых условиях диффузии реагентов на подложке

ГРНТИ	УДК
29.19.16	539.23

Рубрики:
Пленки -- Производство

Кл.слова (ненормированные): пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽