Полное описание
>
Polymers in microlithography: Materials and processes : developed from a symp. at the 197th Mat.meet. of the Amer.chem.soc., Dallas(Tx), Apr.9-14,1989 / Ed. E. Reichmanis. - Washington : [s. n.], 1989. - XII, 449 p. 449 p. : ill. - (ACS symposium series / Amer.chem.soc., ISSN 0097-6156 ; 412). - ISBN 0-8412-1701-7 : 1.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце гл. Указ.: с. 438-449
ГРНТИ | УДК | |
47.09.51 | 621.3.049.77-047.84:776(062) |
Рубрики:
Полимеры -- Применение в микроэлектронике -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): полимер
Доп. точки доступа:
Reichmanis, E.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Заказ фрагмента документа ₽