Полное описание

Q/4195/88-7
Symposium on dry process (9 ; 1987 ; Honolulu). Proceedings of the symposium on dry process, Oct. 22-23, 1987, Honolulu / Symposium on dry process (9 ; 1987 ; Honolulu) ; Ed. J. Nishizawa. - Pennington(NJ) : [s. n.], 1988. - VIII, 347 p. 347 p. : ill. - (Proceedings / Electrochem. soc. ; n88-7). - 29.15 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:с.335-347

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(062)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковый прибор
Доп. точки доступа:
Nishizawa, J.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽