Полное описание
>
Clecwierz, W. Wplych impedancji generatora i obwodow posrednich na impedancje plazmy w zastosowaniu do napylania magnetronowego cienkich warstw w polu wielkiej czestotliwosci / W.Clecwierz,R.Plowiec. - Warszawa : [s. n.], 1994. - 18 s. : il. - (Prace IPPT / Inst.podstawowych problemow techn., ISSN 0208-5658 ; n8/1994). - 100 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.18
ГРНТИ | УДК | |
47.55.29 | 681.89-047.84 |
Рубрики:
Преобразователи электроакустические -- Производство
Доп. точки доступа:
Plowiec, R.
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽