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J2/28938
Freiberger, R. Realisierung eines hochauflosenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlangen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen : Dissertation / R. Freiberger ; von der Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften der RWTH Aachen University. - Aachen : [s. n.], 2017. - 193 l. : ill. - Библиогр.: с. 171-183 (108 назв.). - Тираж не указ. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.31.29	681.723(043)

Рубрики:
Микроскопы ультрафиолетовые

Доп. точки доступа:
Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule (Aachen). Fakultat fur Mathematik, Informatik und Naturwissenschaften

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