Полное описание

J2/28251
Micro-manufacturing engineering and technology / ed. Y. Qin. - Oxford [etc.] : William Andrew: Elsevier, 2010. - XIV, 414 p. : ill. - (Micro & nano technologies / ed. J. Ramsden). - Библиогр. в конце частей. Указ.: с. 405-414. - ISBN 978-0-81-551545-6 : 4603.00 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4-047.84

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы -- Производство

Доп. точки доступа:
Qin, Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа