Полное описание

J2/27969
Paik, U. Nanoparticle engineering for chemical-mechanical planarization : fabrication of next-generation nanodevices / U. Paik, J. -G. Park. - Boca Raton, Fl : CRC Press; Taylor & Francis Group, 2009. - XIII, 191 p. : ill. - (Chemical engineering). - Библиогр.: с. 171-176. Указ.: с. 177-191. - ISBN 978-1-4200-5911-3 : Б. ц. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
81.13.30	620.3

Рубрики:
Нанотехнологии

Доп. точки доступа:
Park, J.-G.

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽