Полное описание

J2/27432
Fruhauf, J. Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique : a man. of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf. - Berlin[etc.] : Springer, 2005. - XII, 221 p. : ill. - Библиогр. в конце глав. Указ.: с. 217-221. - ISBN 3-540-22109-3 : 3508.67 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.9

Рубрики:
Кремниевые структуры

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽