Полное описание

J2/27391
Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter. - New-York (NY) : [s. n.], 2005. - XII, 414 p. : ill. - (Electronic materials: science and technology / Ser. ed.: H. L. Tuller). - Библиогр. в конце глав. Указ.: с. 411-414. - ISBN 0-387-23310-5 : 3679.70 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
45.53	621.31-181.4

Рубрики:
Микроэлектромеханические системы

Доп. точки доступа:
Setter, N.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (1), (1)
Свободны: ХР (1), (1)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽