Полное описание
>
Dziuban, J. A. Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemow / J.A.Dziuban. - Wroclaw : Oficyna wydaw. politech. wroclawskiej, 2002. - 345 s. : il. - ISBN 83-7085-634-9 : 60.00 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце глав.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621-181.4 |
Рубрики:
Миниатюрные изделия
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Заказ фрагмента документа ₽