Полное описание

J2/24489
Jeugd, C. A.van der Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF6/GeH4 : diss. / C.A.van der Jeugd. - Delft : [s. n.], 1992. - 112 p. : ill. - 10 р. - Текст : непосредственный.
Рез.гол.Библиогр. в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.77-047.84:621.793(043)

Рубрики:
Интегральные схемы -- Металлизация

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽