Полное описание

J2/23922
Mulder, E. H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : diss. / E.H.Mulder. - Delft : [s. n.], 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный.
Рез.гол.Библиогр.в конце ст.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776(043)

Рубрики:
Электронолитография -- Оптимизация

Кл.слова (ненормированные): электронолитография
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽