Полное описание

J2/21691
Kohlhof, K. Herstellung und Wachstum einkristalliner Si/CoSi2/Si-Heterostrukturen nach Hochdosis-Ionenimplantation : Diss / K.Kohlhof. - K@:oln : [s. n.], 1989. - 88 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с.82-87
Перевод заглавия: Получение и рост монокристаллических гетероструктур Si/CoSi2/Si после высокодозисной имплантации ионов:Дис.

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Рубрики:
Гетеропереходы

Кл.слова (ненормированные): гетеропереход
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽