Полное описание
>
Laser microfabrication : thin film processes and lithography / сост.ed. D. J. Ehrlich, сост.ed. J. Y. Tsao. - Boston, Ma [etc.] : Acad.press, 1989. - XII, 587 p. 587 p. : ill. - ISBN 0-12-233430-2 : 56.76 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст. Указ.: с. 581-587
ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621.3.049.76.002:621.373.826 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Обработка лазерная
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Ehrlich, D.J.\ed.\
Tsao, J.Y.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:
Заказ фрагмента документа ₽