Полное описание

J2/21486
Laser microfabrication : thin film processes and lithography / сост.ed. D. J. Ehrlich, сост.ed. J. Y. Tsao. - Boston, Ma [etc.] : Acad.press, 1989. - XII, 587 p. 587 p. : ill. - ISBN 0-12-233430-2 : 56.76 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр. в конце ст. Указ.: с. 581-587

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002:621.373.826

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Обработка лазерная

Кл.слова (ненормированные): микроэлектронный прибор
Доп. точки доступа:
Ehrlich, D.J.\ed.\
Tsao, J.Y.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽