Полное описание

J2/21476
Plasma etching : an introduction / ed. D. M. Manos, ed. D. L. Flamm. - Boston, Ma [etc.] : Acad.press, 1989. - VII,476 p. p. : ill. - (Plasma materials interactions). - ISBN 0-12-469370-9 : 37.11 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст.Указ.:c.471-476

ГРНТИ	УДК
55.20.15	621.9.04:533.9

Рубрики:
Плазма -- Применение

Кл.слова (ненормированные): плазма
Доп. точки доступа:
Manos, D.M.\ed.\
Flamm, D.L.\ed.\

Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ХР (1), (2)
Свободны: ХР (1), (2)
Копия:

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽