Полное описание

G2/22418
Фазы внедрения в технологии полупроводниковых приборов и СБИС / О. А. Агеев [и др.] ; под общ. ред. Р. В. Конаковой ; Нац. акад. наук Украины, Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева. - Харьков : Ин-т монокристаллов, 2008. - 390 с. : ил. - (Состояние и перспективы развития функциональных материалов для науки и техники). - Библиогр. в конце гл. - 300 экз. - ISBN 978-9666-02-4742-0 : 260 р. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-047.84

Рубрики:
Полупроводники -- Производство

Доп. точки доступа:
Агеев, О.А.
Беляев, А.Е.
Болтовец, Н.С.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Национальная академия наук Украины (Киев). Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽