Полное описание

G2/20840
Лыньков, Л. М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа. - Минск : [б. и.], 1999. - 205 с. : ил. - ISBN 985-444-036-2 : 5.00 р. - Текст : непосредственный.
В надзаг.Белорусский гос.ун-т Информатики и Радиоэлектроники.Библиогр.:с.197-205

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77-047.84:776

Рубрики:
Электронолитография
Фотолитография
Рентгенолитография
Ионолитография

Доп. точки доступа:
Прищепа, С.Л.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽