Полное описание

G2/20758
Ehmann, T. Systematische Untersuchungen zur Ultraspurenanalytik von Anionen mit der Kapillarzonenelektrophorese und ihre Anwendung in der Halbleiterindustrie : Diss. / T.Ehmann. - Darmstadt : [s. n.], 1998. - ii,142 S. S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.90-95

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84(043)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Загрязнение и защита от него

Кл.слова (ненормированные): полупроводниковый прибор
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽