Полное описание

G2/20314
Wanka, H. Ellipsometrie und Rasterkraftmikroskopie :Untersuchung der Nukleation und des Wachstums von Si-Dunnschichten : Diss. / H.Wanka. - Stuttgart : [s. n.], 1997. - 148 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.134-146

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592-416(043)

Рубрики:
Кремниевые пленки -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): кремниевая пленка
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽