Полное описание

G2/19998
Fischer, M. Entwicklung und Charakterisierung elektrostatisch auslenkbarer Torsionsspiegel aus Polysilizium : Diss. / M.Fischer. - Stuttgart : [s. n.], 1997. - 101 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.94-101

ГРНТИ	УДК
50.09.39	681.587-181.4(043)

Рубрики:
Исполнительные механизмы -- Миниатюризация
Дефлекторы

Кл.слова (ненормированные): исполнительный механизм -- дефлектор
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽