Полное описание

G2/19897
Tolksdorf, R. Synthese und Erprobung neuer Precursoren fur die CVD-Abscheidung von III/V-Halbleitern : Diss. / R.Tolksdorf. - K@:oln : [s. n.], 1997. - 104 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.97-104

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽